Titanska proširena mreža s rupama od 2*3 mm s Ir-Ta premazom za oblaganje poluvodiča

Titanska proširena mreža s rupama od 2*3 mm i Ir-Ta premazom za presvlačenje poluvodiča proizvedena je od ASTM B265 Grade 1 komercijalnog čistog titanijskog lima. Za razliku od utisnute mreže, proširena konstrukcija stvara kontinuirani otvor-u obliku dijamanta-koji je ovdje naveden kao 2 mm × 3 mm-bez gubitka materijala ili zavarenih križanja, čuvajući urođenu otpornost na koroziju i strukturni integritet titanijske podloge. Korak ekspanzije usmjerava niti pod kontroliranim kutom, povećavajući efektivnu površinu dok održava ravnomjernu raspodjelu struje preko površine anode. U primjenama poluvodiča, ova geometrija izravno se prevodi u stabilan protok elektrolita kroz elektrodu, minimizirano zarobljavanje mjehurića i dosljedne linije električnog polja, što je sve kritično za postizanje sub-mikronske ujednačenosti nanosa na supstratima na razini-pločice. Nakon ekspanzije, mreža se podvrgava rigoroznom alkalnom odmašćivanju i kiselinskom jetkanju kako bi se uklonili izvorni oksidi, osiguravajući mehaničko učvršćivanje za naknadni mješoviti-prevlaku metalnih oksida.

Presvlaka od iridijevog-tantalovog (Ir-Ta) oksida nanosi se toplinskom razgradnjom prekursora soli, dajući dimenzionalno stabilnu anodu (DSA) posebno projektiranu za oslobađanje kisika u-elektrolitima na bazi sumporne kiseline koji sadrže kloride u tragovima-točna kemija koja se susreće u naprednom kupke za bakrenje poluvodiča. 2*Titanska ekspandirana mreža s rupama od 3 mm s Ir-Ta premazom za presvlaku poluvodiča isporučuje prenapon za oslobađanje kisika od samo 1,385 V u odnosu na referentnu elektrodu sa živinim sulfatom, izravno smanjujući napon ćelije i potrošnju energije u operacijama pulsno periodičnog obrnutog (PPR) presvlačenja. Ir-Ta formulacija pokazuje superiornu otpornost na anodno otapanje pod-pulsovima-gustoće struje uobičajenim u procesima bakrenog damascena, gdje bi premazi-na bazi rutenija pretrpjeli ubrzanu degradaciju.

Osim toga, komponenta tantalovog oksida stabilizira strukturu premaza, produžujući radni vijek preko 36 mjeseci u tipičnim ciklusima presvlačenja poluvodiča od foup-do-foup. Svaka partija mreže pregledava se automatiziranim vizualnim sustavima tijekom faza ravnanja i završne obrade, potvrđujući toleranciju debljine unutar ±0,05 mm i profile bez rubova koji su kompatibilni s automatiziranim rukovanjem alatom za metalizaciju. Rezultat je anoda-bez onečišćenja koja održava dimenzionalnu stabilnost, eliminira rasipanje čestica i omogućuje ponovljivu izvedbu presvlake visoke-čistoće potrebnu za naprednu metalizaciju međuspoja.

Vrhunska otpornost na koroziju u sumpornoj kiselini- koja sadrži klorid

Komponenta tantalovog oksida stabilizira matricu premaza protiv anodnog napada u elektrolitima koji sadrže kloride u tragovima, standardni aditiv u naprednoj kemiji bakrenja. Titanijska podloga ostaje u potpunosti pasivizirana, eliminirajući rizik od kontaminacije bakrom iz otopljenog osnovnog metala.

Minimizirano zarobljavanje mjehurića i poboljšan transport mase

Otvorena mrežasta struktura omogućuje razvijenim mjehurićima kisika da se brzo odvoje od površine elektrode, smanjujući otpor graničnog sloja i održavajući konzistentan protok elektrolita. Alternative s utisnutom mrežom ili čvrstom pločom pokazuju veće zadržavanje plina, što dovodi do lokalne zaštite i ne-ujednačenosti oplate.

Rad-bez kontaminacije

I supstrat od titana i Ir-Ta premaz inertni su u uvjetima nanošenja. U elektrolit se ne otpuštaju olovo, antimon ili druge topive vrste, čime se eliminira potreba za periodičnom zamjenom anodnih vrećica i smanjuju defekti čestica u elementima ispod 10 μm.

 

Tolerancija debljine i rubovi-bez neravnina

 

Ravnanje i završna obrada nakon -ekspanzije kontroliraju se automatiziranim sustavima za viziju, održavajući debljinu na ±0,05 mm od nominalne vrijednosti i osiguravajući da su svi rubovi niti očišćeni. Ovo eliminira mehanička oštećenja membranskih separatora ili alata za rukovanje pločicama.

Produženi vijek trajanja

Ubrzano ispitivanje životnog vijeka (ALT) ispod 2 A/cm² u 1,5 M H₂SO₄ dosljedno premašuje 36 mjeseci kontinuiranog rada, s degradacijom premaza naznačenom porastom napona, a ne katastrofalnim kvarom, što omogućuje predvidljivo planiranje održavanja.

Prilagodljivi geometrijski parametri

 

Iako je specificiran kao otvor od 2 mm × 3 mm, proces proširene mreže omogućuje neovisnu kontrolu nad širinom niti, kutom otvaranja i postotkom otvorene površine, omogućujući optimizaciju za specifične dizajne alata za nanošenje i zahtjeve protoka tekućine bez troškova prepravke.

• Bakreni damascent za logičke čvorove – sklop anode u alatima za oblaganje od 300 mm za prazninu-slobodno donje-gore punjenje rovova ispod 10nm; proširena mreža osigurava jednoliku distribuciju struje pod PPR valnim oblicima.

• Ispuna-silicijem (TSV) – anoda punog-poprečnog-presjeka u okomitim komorama za otvore omjera 10:1–20:1; održava stabilno razvijanje kisika tijekom produženih ciklusa visoke-struje-gustoće.

• Sloj redistribucije (RDL) na pakiranju na-razini panela – vodoravni sustavi lopatica; Otvori od 2×3 mm omogućuju kontinuiranu recirkulaciju elektrolita za<3% thickness variation across 600mm substrates.

• Under-metalizacija (UBM) za flip{1}}chip – segmentirana kontrola struje u alatima za selektivnu metalizaciju; premaz podnosi periodične obrnute cikluse čišćenja bez pomaka performansi.

• Ugrađeni tragovi supstrata (ETS) međuspojni-visoke gustoće – okomite kontinuirane ploče (VCP); anodna ploča obuhvaća cijelu širinu supstrata, smanjujući-povlačenje i eliminirajući ograničenja održavanja čvrste ploče.

• Izbočina od zlata/nikla za automobile i električne uređaje – rad s visokom-strujom-gustoće (3–8 ASD); nizak prenapon smanjuje zagrijavanje elektrolita, čuvajući stabilnost kupke za udarce od 20–100 μm.

• Naknadna obrada elektrolitičkom bakrenom{0}}folijom – kontinuirane linije za foliju od 6–18 μm; proširena mreža omogućuje jednoliku struju preko 1400 mm širine mreže u fazama pasivacije na bazi kroma-.

• Preinake alata za presvlačenje – Izravna zamjena za Lam Research, Applied Materials, NEXX sustave; Ir-Ta premaz pruža produžene servisne intervale u usporedbi s originalnim anodama na bazi-rutenija.

Tel: 0917-3873009

Telefon: +86 18992731201

Email:zhangjixia@bjygti.com

Faks: 0917-3873009

Adresa: No. 195, Gaoxin Avenue, High-technology Development Zone, Baoji City, Shaanxi, Kina

WhatsApp: +86 18992731201

Popularni tagovi: Titanska proširena mreža s rupama 2*3 mm s ir-ta premazom za oplatu poluvodiča, Kina, dobavljači, proizvođači, prilagođeno, uporaba, cjenik, na prodaju, na zalihama, besplatni uzorak, porozni materijal